| 发明名称 |
Method of automatically etching an esaki diode |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3196094(A) |
申请公布日期 |
1965.07.20 |
| 申请号 |
US19600035677 |
申请日期 |
1960.06.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
JR. EDWARD M. DAVIS, |
| 分类号 |
C25F3/12;H01L21/3063;H01L29/00 |
主分类号 |
C25F3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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