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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN EINES SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE4109018(A1) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 DE19914109018 申请日期 1991.03.20
申请人 LEYBOLD AG, 6450 HANAU, DE 发明人 LATZ, RUDOLF DR., 6054 RODGAU, DE
分类号 C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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