发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04268749(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910030466 申请日期 1991.02.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRAYAMA KAZUTOSHI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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