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发明名称 FORMATION OF MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPH04267526(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910050690 申请日期 1991.02.22
申请人 YAMAHA CORP 发明人 HANAGASAKI OSAMU
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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