| 发明名称 |
METHOD OF FORMING DIRECT CONTACT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04267521(A) |
申请公布日期 |
1992.09.24 |
| 申请号 |
JP19910050812 |
申请日期 |
1991.02.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOUSHIBA MAIKURO EREKUTORONIKUSU KK |
发明人 |
WAKAGI MIDORI;SHIMADA SHINICHI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/73;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
