METHOD AND DEVICE FOR ETCHING,申请号JP19910030263-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR ETCHING
摘要
申请公布号	JPH04268728(A)	申请公布日期	1992.09.24
申请号	JP19910030263	申请日期	1991.02.25
申请人	HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD	发明人	KAWAI KAZUHIKO;OTSUBO TORU;KATO SEIICHI;MORIWAKI KATSUHARU;HASEBE ARIHIRO;KOJIMA MASAYUKI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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