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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04268725(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910030394 申请日期 1991.02.25
申请人 CANON INC 发明人 HIRAI YUTAKA
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L27/20;H01L29/84 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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