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发明名称 VACUUM CONTROLLER PROVIDED WITH TROUBLE FORESEEING FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH04268612(A) 申请公布日期 1992.09.24
申请号 JP19910028956 申请日期 1991.02.22
申请人 SMC CORP 发明人 SUGANO SHIGERU;TAKEBAYASHI TAKASHI;NAGAI SHIGEKAZU;ITO KICHIJI
分类号 G05D16/20 主分类号 G05D16/20
代理机构 代理人
主权项
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