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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR ION MILLING
摘要
申请公布号
JPH04268434(A)
申请公布日期
1992.09.24
申请号
JP19910050576
申请日期
1991.02.22
申请人
TOKIN CORP
发明人
SATO TAKAFUMI
分类号
G01N1/28;G21K5/04;H01J37/20
主分类号
G01N1/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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