| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR GUIDING AND CENTERING OF ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04268072(A) |
申请公布日期 |
1992.09.24 |
| 申请号 |
JP19910330548 |
申请日期 |
1991.12.13 |
| 申请人 |
BALZERS AG |
发明人 |
ROORANTO SHIYUMITSUTO;HERUMUUTO KAUFUMAN |
| 分类号 |
C23C14/30;C23C14/54;H01J37/04;H01J37/06 |
主分类号 |
C23C14/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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