发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TEST OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04266043(A) 申请公布日期 1992.09.22
申请号 JP19910313828 申请日期 1991.10.31
申请人 HUGHES AIRCRAFT CO 发明人 JIYON PASHIETSUNIKU JIYUNIA
分类号 G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
主权项
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