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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH04266058(A)
申请公布日期
1992.09.22
申请号
JP19910027022
申请日期
1991.02.21
申请人
NEC ENG LTD
发明人
KAWADA KAZUHIRO
分类号
H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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