| 发明名称 |
OPTICAL APPARATUS HAVING EQUAL-FOCAL-POINT OPTICAL PATH FOR INSPECTING SUBTANCE UNDER INSPECTION IN THREE DIMENSIONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04265918(A) |
申请公布日期 |
1992.09.22 |
| 申请号 |
JP19910294011 |
申请日期 |
1991.11.11 |
| 申请人 |
CARL ZEISS:FA |
发明人 |
EEBERUHARUTO DERUNDEINGAA;RUUDORUFU GUROOSUKOPUFU;KURAUSU KUNUPUFUAA |
| 分类号 |
G01B11/24;G01B9/04;G02B21/00 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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