发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT TESTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04264747(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910025822 申请日期 1991.02.20
申请人 NEC CORP 发明人 MAEDA TETSUNORI
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/317;H01L21/66;H01L21/82;H01L23/34 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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