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发明名称 PATTERN FORMATION
摘要
申请公布号 JPH04264725(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910045910 申请日期 1991.02.19
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TAKAHASHI TSUNEO;IKUTSU HIDEO
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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