发明名称 PHOTOMASK AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04264752(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910026005 申请日期 1991.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KIKUCHI YOSHIBUMI
分类号 H01L21/76;H01L21/027 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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