发明名称 WAFER TRANSFER ROBOT
摘要
申请公布号 JPH04264749(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910024996 申请日期 1991.02.20
申请人 EBARA CORP 发明人 KONDO FUMIO;KANEMITSU YOICHI;OGAMINO HIROAKI;IKEDA YUKIO
分类号 B25J9/06;B25J9/00;B65G49/00;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677;H01L21/68 主分类号 B25J9/06
代理机构 代理人
主权项
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