| 发明名称 |
HIGH DOSE INJECTION VOLUME CONTROLLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04264343(A) |
申请公布日期 |
1992.09.21 |
| 申请号 |
JP19910046122 |
申请日期 |
1991.02.18 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
INAI YUTAKA;MATSUNAGA KOJI;INAMI HIROSHI;MATSUDA YASUHIRO;YAMASHITA TAKATOSHI |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/54;H01J37/252;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/66 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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