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发明名称 IMAGING TYPE SOFT X-RAY MICROSCOPE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04264300(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910024764 申请日期 1991.02.19
申请人 NIKON CORP 发明人 NAGATA HIROSHI
分类号 G01N23/04;G01N23/20;G02B27/44;G21K7/00 主分类号 G01N23/04
代理机构 代理人
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