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发明名称 MEASUREMENT OF SCANNING TYPE MICROSCOPIC IMAGE
摘要
申请公布号 JPH04264342(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910024240 申请日期 1991.02.19
申请人 NEC CORP 发明人 IDE TAKASHI
分类号 G01B7/34;G01N37/00;G01Q10/06;G01Q60/10;G01R19/12;G06T1/00;H01J37/22;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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