发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH04264754(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910299587 申请日期 1991.10.21
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 RICHIYAADO UIRIAMU GUREGOORU;CHIYUN UEI RUN;JIYOSEFU RUDORUFU RADOSEBITSUCHI;PURADEITSUPU KUMAA ROI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/32;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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