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发明名称 FORMATION OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH04264719(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910045422 申请日期 1991.02.19
申请人 SONY CORP 发明人 TAGUCHI MITSURU;KOYAMA KAZUHIDE
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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