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发明名称 METHOD FOR GROWING LIQUID PHASE EPITAXY AND PRODUCTION DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04265293(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910024258 申请日期 1991.02.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE YUKIO
分类号 C03B19/06;C30B19/00;H01L21/208 主分类号 C03B19/06
代理机构 代理人
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