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发明名称 HEAT TREATMENT DEVICE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04264717(A) 申请公布日期 1992.09.21
申请号 JP19910026038 申请日期 1991.02.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAGAWA KOICHI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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