| 发明名称 |
PLASMA TEMPERATURE MEASURING METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR920007850(B1) |
申请公布日期 |
1992.09.18 |
| 申请号 |
KR19890001928 |
申请日期 |
1989.02.18 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND. CO., LTD. |
发明人 |
ISHIHARA, SHINICHIRO |
| 分类号 |
C23F4/00;G01K11/20;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
