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经营范围
发明名称 ECR PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04263078(A) 申请公布日期 1992.09.18
申请号 JP19910022353 申请日期 1991.02.15
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 TAKEUCHI YOSHIAKI;MURATA MASAYOSHI
分类号 C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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