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发明名称 DRY-ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04263424(A) 申请公布日期 1992.09.18
申请号 JP19910024379 申请日期 1991.02.19
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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