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发明名称 SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04263064(A) 申请公布日期 1992.09.18
申请号 JP19910024481 申请日期 1991.02.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUEHIRO HARUHIKO
分类号 C23C14/24;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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