发明名称 METHOD FOR ADJUSTING BEAM ALIGNMENT OF ELECTRON BEAM MACHINE
摘要
申请公布号 JPH04262882(A) 申请公布日期 1992.09.18
申请号 JP19910001463 申请日期 1991.01.10
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMAMOTO YOSHIHIRO
分类号 B23K15/00;B23K15/02;H01J37/04;H01J37/315 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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