| 发明名称 |
LOW PRESSURE VAPOR PHASE GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR920007848(B1) |
申请公布日期 |
1992.09.18 |
| 申请号 |
KR19900001259 |
申请日期 |
1990.02.02 |
| 申请人 |
NICHIDEN ANERUBA K.K. |
发明人 |
MIZUNO, SHIGERU;MORISAKO, ISAMU |
| 分类号 |
C23C16/46;C23C16/44;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/46 |
主分类号 |
C23C16/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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