PROJECTION EXPOSURE APPARATUS WITH A DEVICE FOR COMPENSATING ABERRATION OF A PROJECTION LENS,申请号EP19910308996-传众专利搜索

发明名称	PROJECTION EXPOSURE APPARATUS WITH A DEVICE FOR COMPENSATING ABERRATION OF A PROJECTION LENS
摘要
申请公布号	EP0480616(A3)	申请公布日期	1992.09.16
申请号	EP19910308996	申请日期	1991.10.01
申请人	CANON KABUSHIKI KAISHA	发明人	UNNO, YASUYUKI;ORII, SEIJI;YONEKAWA, MASAMI
分类号	G03F7/20;G03F7/207;(IPC1-7):G03F7/20	主分类号	G03F7/20
代理机构		代理人
主权项
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