发明名称 MULTI-CHAMBER DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0258966(B1) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 EP19870305519 申请日期 1987.06.22
申请人 MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY 发明人 JACOBSON, RICHARD L. C/O MINNESOTA MINING AND;JEFFREY, FRANK R. C/O MINNESOTA MINING AND
分类号 C23C14/24;C23C14/54;C23C16/54;C23C14/56;C23C16/02 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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