| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04260375(A) |
申请公布日期 |
1992.09.16 |
| 申请号 |
JP19910022357 |
申请日期 |
1991.02.15 |
| 申请人 |
TOYOTA AUTOM LOOM WORKS LTD |
发明人 |
NONAKA YOSHINORI;NIWA MOTOMI |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;H01L29/80 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
