发明名称 METHOD FOR INSPECTING LOGIC
摘要
申请公布号 JPH04260976(A) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 JP19910007419 申请日期 1991.01.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 EJIMA YUKO;MURAKAMI MASAAKI
分类号 G01R31/28;G06F17/50 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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