METHOD FOR PRODUCING A PLANAR SURFACE IN INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING,申请号EP19910303713-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR PRODUCING A PLANAR SURFACE IN INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURING
摘要
申请公布号	EP0455413(A3)	申请公布日期	1992.09.16
申请号	EP19910303713	申请日期	1991.04.24
申请人	AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY	发明人	MANOCHA, AJIT SINGH;YU, CHEN-HUA DOUGLAS
分类号	H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/60	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利