发明名称 SI CRYSTAL FORCE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP0303875(B1) 申请公布日期 1992.09.16
申请号 EP19880112353 申请日期 1988.07.29
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOYOTA CHUO KENKYUSHO 发明人 OMURA, YOSHITERU;KAWAGUCHI, KAZUYOSHI LIONS-MANSION;TSUKADA, KOUJI;SUGIYAMA, SUSUMU 4006, AZA KUROISHI OAZA SHIMADA;HAYASHI, SADAYUKI;MATSUI, MASAYUKI
分类号 H01L29/84;G01L1/16;G01L1/18;(IPC1-7):G01L1/18 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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