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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Perfluorpolyetheracylfluoriden der Formel (I) F3C(CF2)2-O-[CF(CF3)CF2-O-]nCF(CF3)COF (I) wobei n eine ganze Zahl von 0 - 60 bedeutet, bei dem man Hexafluorpropylenoxid in Gegenwart von CsF und einem Polyethylenglykoldimethylether oligomerisiert und das dabei entstehende Reaktionsgemisch mit mindestens einer der in einem aprotischen Lösungsmittel gelösten Halogenverbindungen HCl, HBr, BCl3, PCl3, SCl2 und RmSiCl4-m, wobei m = 0, 1, 2 oder 3 und R = C1-C3-Alkyl oder Phenyl ist, umsetzt.
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