| 发明名称 |
ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5148033(A) |
申请公布日期 |
1992.09.15 |
| 申请号 |
US19910769343 |
申请日期 |
1991.10.02 |
| 申请人 |
FUJITSU LIMITED |
发明人 |
YAMADA, AKIO;SAKAMOTO, KIICHI |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;H01J37/21;H01J37/302;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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