发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 US5147824(A) 申请公布日期 1992.09.15
申请号 US19910745803 申请日期 1991.08.16
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 YASUE, TAKAO
分类号 H01L21/02;H01L23/544;H01L29/06 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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