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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
US5147824(A)
申请公布日期
1992.09.15
申请号
US19910745803
申请日期
1991.08.16
申请人
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
发明人
YASUE, TAKAO
分类号
H01L21/02;H01L23/544;H01L29/06
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
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