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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL GROWTH DEVICE AND MOLECULAR BEAM CONTROL METHOD THEREIN FOR EXACTLY CONTROLLING THICKNESS AND COMPOSITION OF EPITAXIAL FILM
摘要
申请公布号 US5147461(A) 申请公布日期 1992.09.15
申请号 US19910802306 申请日期 1991.12.04
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 IGARASHI, TAKESHI
分类号 H05H3/02;C23C14/54;C30B23/02;C30B23/08;H01L21/203 主分类号 H05H3/02
代理机构 代理人
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