| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG MIT EINEM ZWEISTRAHLENINTERFERENZMIKROSKOP ZUR UNTERSUCHUNG VON INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN UND DERGLEICHEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT79669(T) |
申请公布日期 |
1992.09.15 |
| 申请号 |
AT19870106331T |
申请日期 |
1987.05.01 |
| 申请人 |
KLA INSTRUMENTS CORPORATION |
发明人 |
DAVIDSON, MARK |
| 分类号 |
G01B11/02;G01N21/88;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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