发明名称 Procédé de fabrication des dispositifs à semi-conducteurs
摘要
申请公布号 FR1461531(A) 申请公布日期 1966.02.25
申请号 FR19650034480 申请日期 1965.10.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 C23C2/14;H01L21/00;H01L21/24 主分类号 C23C2/14
代理机构 代理人
主权项
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