发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04258139(A) 申请公布日期 1992.09.14
申请号 JP19910019704 申请日期 1991.02.13
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 OGATA TAKASHI
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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