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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04258153(A) 申请公布日期 1992.09.14
申请号 JP19910042702 申请日期 1991.02.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ODA TAKAFUMI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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