发明名称 MEASURING METHOD OF PATTERN WIDTH
摘要
申请公布号 JPH04256334(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910017320 申请日期 1991.02.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OKADA TOMOYUKI;HASHIMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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