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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04257120(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910018161 申请日期 1991.02.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KONISHI YOSHIYUKI
分类号 G01R31/316;G01R31/28;H01L21/66;H03M1/10 主分类号 G01R31/316
代理机构 代理人
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