发明名称 MANUFACTURE OF III - V COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04257218(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910211205 申请日期 1991.08.23
申请人 AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> 发明人 MOSESU TAARUMUN ASOMU
分类号 H01L21/205;H01L21/285;H01L21/314 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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