发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04257222(A) 申请公布日期 1992.09.11
申请号 JP19910018542 申请日期 1991.02.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAITO TOMOYUKI;SHINDO JUNJI
分类号 H01L21/306;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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