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发明名称 SILICON CRYSTAL FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04255213(A) 申请公布日期 1992.09.10
申请号 JP19910016280 申请日期 1991.02.07
申请人 NEC CORP 发明人 HAMADA KOJI
分类号 H01L21/20;H01L21/265 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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