发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04255228(A) 申请公布日期 1992.09.10
申请号 JP19910039516 申请日期 1991.02.07
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 MATSUI YASUSHI;ARIMA HIDEAKI
分类号 H01L21/304;H01L21/322;H01L21/324 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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